1、真空泵的分类:
2、按工作原理分类:
3、气体输送泵,包括变容真空泵、动量传输泵;
4、气体捕集泵,包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。
5、按真空度分类:
6、粗真空度;
7、高真空度,包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵;
8、超高真空度。
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