真空泵有哪几种

生活百科2026-03-02 00:26:09 莘伊树

1、真空泵的分类:

2、按工作原理分类:

3、气体输送泵,包括变容真空泵、动量传输泵;

4、气体捕集泵,包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。

5、按真空度分类:

6、粗真空度;

7、高真空度,包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵;

8、超高真空度。

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